Capas delgadas y recubrimientos funcionales depositados mediante técnicas de vacío.

Egileak

  • José M. Albella Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC)
  • Ramón Escobar Galindo Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC)
  • Cristina Gómez-Aleixandre Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC)
  • Ignacio Jiménez Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (CSIC)

Laburpena

En este trabajo se destaca la importancia de las técnicas de vacío en la preparación de recubrimientos y capas delgadas funcionales, describiendo los fundamentos de los principales procesos de síntesis vía deposición física (PVD o Physical Vapour Deposition), o química (CVD o Chemical Vapour Deposition), así como sus últimos desarrollos técnicos. Finalmente se hace una revisión de los principales nichos de aplicación tecnológica de los materiales así depositados

Argitaratuta

2011-01-01

Zenbakia

Atala

Temas de Física